特徵

• 12"Wafer , 12" Metal Carrier 標準機型
• 上方盤面式電控箱設計，一對二最佳選擇
• 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
• 料件符合RoHS規範，潔淨度最高可達ISO Class 1
• 多種感測器偵測各項元件，即時監測設備狀態
• 即時影像監控，條碼、標籤字元辨識，完整追蹤生產過程
• 提供客製化晶圓或其他機板搬運需求