ballscrew

HIWIN EFEM320-D01 晶圓移載系統

特徵

  • 8" SMIF標準機型
  • 外置電控箱設計,機架內部空間最大化
  • 通過國際半導體設備SEMI S2安全認證
  • 料件符合RoHS規範,潔淨度最高可達ISO Class 1
  • 多種感測器偵測各項元件,即時監測設備狀態
  • 條碼、標籤及字元辨識,完整追蹤生產過程
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