技術支援
RWDE 雙臂晶圓機器人
文件
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軟體
Wafer Tool軟體需搭配正確的RCU8韌體版本，下載前請確認HRC-W/RC8控制器規格與軟體版本，如遇問題請聯繫上銀售服團隊。
晶圓機器人 Wafer Tool 軟體
WaferTool_v1.11.11
Wafer Tool Software Installation Attachments
EtherCat & Serial 通訊驅動程式
Wafer Tool 軟體 RCU8 附件 For RC8-V1 控制器
RCU8-1.085
若需要其他韌體版本，請參考此連結 非最新版本下載專區。