Wafer Tool軟體需搭配正確的RCU8韌體版本，下載前請確認HRC-W/RC8控制器規格與軟體版本，如遇問題請聯繫上銀售服團隊。
Wafer Robot Wafer Tool Software
WaferTool_v1.9.4
Wafer Tool Software Installation Attachments
EtherCat & Serial Communication Driver
Wafer Tool software RCU8 attachment for RC8-V1 Controller
RCU8-1.082
若需要其他韌體版本，請參考此連結 非最新版本下載專區。