HIWIN LOGO

RWS 單臂晶圓機器人

特色

直驅馬達傳動設計,重複精度達±0.1mm。

重複精度
±0.1
Z軸行程
Max.500 mm
額定負載
2-3 kg
應用產業
半導體LED面板IC自動光學檢測自動化
HIWIN技術支援