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RWDE 晶圓機器人

特色

直驅馬達傳動設計,重複精度達±0.1mm,可選配電翻模組,支援非徑向取放功能。

重複精度
±0.1 mm
Z軸行程
Max.500 mm
額定負載
1-3 kg
應用
半導體LED面板IC自動光學檢測自動化
HIWIN技術支援