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RWS Wafer Robot

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Brochure

Manipulator Module

RWS-T-Z340-R135

3D

RWS-T-Z340-R185

3D

RWS-T-Z400-R135

3D

RWS-T-Z400-R185

3D

RWS-T-Z500-R135

3D

RWS-T-Z500-R185

3D

RWS-B-Z340-R135

3D

RWS-B-Z340-R185

3D

RWS-B-Z400-R135

3D

RWS-B-Z400-R185

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RWS-B-Z500-R135

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RWS-B-Z500-R185

3D

HRC-W401 Controller Manipulator

2D 3D

End Module


DW-Ata-R135-035

SR-Ata-R135-035

3D
SR-Ata-R185-035

SR-Ata-R185-035

3D
SR-Ata-R185-060

SR-Ata-R185-060

3D
SR-Rta-R135-035

SR-Rta-R135-035

3D
SR-Rta-R185-035

SR-Rta-R185-035

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Fork

F02

F02

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F04

F04

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F08

F08

3D
F08

F21

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F31

F31

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F34

F34

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F148

F148

3D
F262

F262

3D
F275

F275

3D


Software

Wafer Tool軟體需搭配正確的RCU8韌體版本,下載前請確認HRC-W/RC8控制器規格與軟體版本,如遇問題請聯繫上銀售服團隊。

晶圓機器人 Wafer Tool 軟體

WaferTool_v1.4.2

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR HRC-W 控制器

RCU8-0.063

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR HRC-W 控制器

RCU8-0.064

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR HRC-W 控制器

RCU8-0.065

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR HRC-W 控制器

RCU8-0.066

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR HRC-W 控制器

RCU8-0.068

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR RC8-V1 控制器

RCU8-1.063

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR RC8-V1 控制器

RCU8-1.064

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR RC8-V1 控制器

RCU8-1.065

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR RC8-V1 控制器

RCU8-1.066

Wafer Tool 軟體RCU8附件
FOR RC8-V1 控制器

RCU8-1.068

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